기판 재료의 특성, 기판 표면의 정확도, 표면 거칠기 및 미립자 오염 물질의 유형에 따라 현재 레이저 청소 방법은 다음 두 가지 범주로 나눌 수 있습니다.
1) 레이저 드라이 클리닝 방법. 레이저는 물체의 표면을 직접 조사하고 입자를 오염 시키거나 표면의 에너지를 흡수 한 다음 열 확산, 광분해 및 가스화에 의해 입자가 표면을 떠나게합니다.
2) 레이저 웻 클리닝 방식. 청소할 재료 표면에 오염되지 않은 액체 (주로 물, 때로는 알코올)를 뿌린 다음 레이저로 조사합니다. 레이저 에너지를 흡수 한 후 액체 매체는 폭발성 기화를 생성하고 주변의 오염 입자를 재료 표면에서 밀어냅니다. 또한, 소위 레이저 화합물 세정 방법이 제안되었습니다. 레이저 에너지는 기판 재료에 흡수되고 흡착 된 중간 매체는 열 대류에 의해 가열되고 중간 매체는 폭발성 기화를 생성합니다. 높은 공기 흐름에 의해 입자는 중간 매체와 함께 기판 표면에서 분리됩니다.
