2025년 12월 2일, 레이저 산업 개발 및 응용 기술에 관한 세미나인 '지혜-중산 모임: 과학-기술 혁신 강의'-가 광동성 중산에서 성대하게 열렸습니다. 레이저 산업 개발 및 응용 기술에 대한 세미나와 광전자 산업 기술 매치메이킹 이벤트가 Torch High-tech Zone-에서 열렸습니다. Huari Laser는 레이저 산업의 미래를 탐구하기 위해 수많은 업계 리더들과 함께 화중 과학기술대학교와 장춘 과학기술대학교의 전문가 및 학자들과 함께 초대되어 참석했습니다. Huari Laser의 Xie Gehui 박사는 "반도체 계측 분야에서 국내 초고속 레이저의 응용"이라는 제목의 기조 연설을 통해 이 분야의 최신 혁신 기술과 국내 응용에 대한 전망을 소개했습니다.
반도체 산업의 경쟁은 정밀 제조와 수율 제어의 경쟁입니다. 점점 작아지는-칩 제조 공정 시대에 나노미터 규모로 내부 구조를 명확하게 시각화할 수 있는 방법은 무엇일까요? Huari Laser는 강력한 국내 개발 솔루션을 제공했습니다. 반도체 계측은 칩 제조의 "눈" 역할을 합니다. Xie Gehui 박사는 웨이퍼 제조 공정이 점점 더 복잡해짐에 따라 기존 검사 방법이 요구 사항을 충족하는 데 어려움을 겪고 있다고 지적합니다. 극도의 광학적 특성을 활용하여 초단{4}}펄스 레이저는 과학 연구와 산업 부문 모두를 위한 혁신적인 도구로 등장했습니다.
프레젠테이션에서 Xie Gehui 박사는 Huari Laser의 두 가지 주요 기술 응용 분야를 강조했습니다.
1. **펨토초 초음파 기술(내부 칩 "초음파"):** 불투명 샘플과 다층 박막 구조를 대상으로 하는 Huari Laser는 펨토초 "펌프-프로브" 기술을 사용합니다. 초고속 펨토초 시간 분해능을 활용하여 시스템은 나노미터 규모의 미세한 구조 변화를 정확하게 감지할 수 있습니다. 박막 두께 측정 및 내부 칩 상호 연결 검사에 성공적으로 적용된 이 기술은 비-접촉, 비{7}}NDT(비파괴 검사) 기술을 나타냅니다.
2. **이중-빗형 분광 기술(고-정밀도 "스펙트럼 핑거프린팅"):** Xie 박사는 듀얼-빗형 기술을 사용하여 마이크로{4}}나노 이미징 분야의 획기적인 발전을 소개했습니다. 이 기술은 기계적 스캐닝 없이 고정밀, 고속-, 고해상도 광학 측정을 가능하게 하며, 반도체 마이크로{11}}나노 구조의 3D 이미징을 위한 강력한 기술 지원을 제공합니다.
**핵심 혁신:** Glow 시리즈 532nm 녹색 펨토초 레이저-는 최고 수준의 국제 제품과 경쟁할 수 있는 제품입니다.-
Xie 박사는 고정밀 측정이 뛰어난 노이즈 성능을 갖춘 레이저에 의존한다는 점을 강조했습니다.- 반도체 계측에서 RIN(상대 강도 노이즈) 및 위상 노이즈(타이밍 지터)는 측정 노이즈 플로어를 결정하는 중요한 요소입니다. Glow green 펨토초 레이저는 계측 응용 분야를 위해 다음과 같은 최적화 기능을 통합합니다.
1. **저소음:** 새로운 캐비티 설계와 수동적 소음 억제 방식이 특징입니다. 캐비티 내 분산과 비선형 효과를 정밀하게 제어하여 소음을 최소화합니다.
2. **높은 안정성:** 연중무휴 24시간 연속 작동을 지원합니다. 내장된-광 절연 및 높은-안정성 모든-광섬유 증폭 기능을 포함합니다. 유지관리가-무료입니다.
3. **간편한 통합:** 공랭식-냉각식 열 관리 및 통합 산업 설계로 시스템 통합이 용이합니다.
뛰어난 저소음 성능과 안정성으로{0}}측정 정확도, 감도, 효율성, 작동 신뢰성의 한계를 뛰어 넘었습니다. 이러한 발전 덕분에 국내에서 생산된 레이저는 국제 레이저와 정면으로 경쟁할 수 있게 되었으며, 반도체 검사 및 계측과 같은 고급 응용 분야의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있게 되었습니다.-
50,000개 이상의 레이저 대량 공급 경험과 포괄적인 산업{2}}체인 구조를 활용하는 Huaray Laser는 'Made in China'의 강력한 기능을 활용하여 해외 독점을 무너뜨리고 칩 설계부터 웨이퍼 제조에 이르기까지 프로세스의 모든 단계에 활력을 불어넣고 있습니다.- 앞으로 Huaray Laser는 업계 파트너와 협력하고 고객 문제를 해결하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 점점 더 정확하고 안정적인 국내 레이저 소스를 제공함으로써 회사는 중국 반도체 산업의 자립과 자율성을 향한 길을 밝히는 것을 목표로 하고 있습니다.
