펄스 Nd : YAG 레이저 세정 프로세스는 고강도 빔, 짧은 펄스를 기반으로 레이저에 의해 생성 된 광 펄스의 특성에 의존합니다.
레이저와 오염 된 층 사이의 상호 작용에 의한 광 물리 반응. 그것의 물리적 원리는 다음과 같이 요약 될 수있다 :
1) 레이저에 의해 방출 된 빔은 처리 될 표면상의 오염 된 층에 의해 흡수된다.
2) 큰 에너지의 흡수는 충격파를 발생시키는 급속하게 팽창하는 플라즈마 (고도로 이온화 된 불안정한 기체)를 형성한다.
3) 충격파로 인해 오염 물질이 파편이되어 거부됩니다.
4) 광 펄스 폭은 처리되는 표면을 손상시키는 열의 축적을 피할만큼 충분히 짧아야합니다.
5) 금속의 표면에 산화물이 존재하면 플라즈마가 금속 표면에 생성된다는 실험 결과가 있습니다.
플라즈마는 에너지 밀도가 제거되는 오염 된 또는 산화물 층에 의존하는 임계 값 이상일 때에 만 생성된다. 이 임계 값
효과는 기판 재료의 안전성을 보장하면서 효과적인 세정에 중요합니다. 플라즈마의 존재에 대한 두 번째 임계 값도 있습니다. 가능하다면
양 밀도가이 임계 값을 초과하면, 기판 물질이 파괴 될 것이다. 기판 재료의 효과적인 세정을 보장하기 위해,
광 매개 변수는 광 펄스의 에너지 밀도가 엄격하게 두 개의 임계 값 사이가되도록 조정됩니다.
각 레이저 펄스는 오염 된 층의 특정 두께를 제거합니다. 오염 된 층이 두꺼우면 세척을 위해 다중 펄스가 필요합니다. 표면 건조
그물에 필요한 맥박의 양은 표면 오염의 정도에 달려 있습니다. 두 가지 기준에 의해 생성 된 중요한 결과는 청소의 자체 제어입니다. 높은 에너지 밀도
제 1 임계 값에서의 광 펄스는 기판 물질에 도달 할 때까지 항상 오염물을 제거 할 것이다. 그러나, 그 에너지 밀도가 기판 재료의 에너지 밀도보다 낮기 때문에
임계 값이 파괴되어 기판이 손상되지 않습니다.
