최근 프랑스 보르도 대학 CELIA(Institute of Strong Lasers and Applications) 레이저-물질 상호작용 연구 그룹은 기가헤르츠(GHz) 펄스 상태에서 작동하는 펨토초 레이저를 이용한 새로운 유리 미세입자를 개발했다고 발표했다. 유리 내벽이 매끄럽고 유리에 균열이 없는 테이퍼가 없는 가느다란 구멍을 유리에 뚫을 수 있는 드릴링 방법.
일반적으로 표준 단일 펨토초 펄스 레이저로 유리에 구멍을 뚫으면 길이가 유한하고 내부 표면이 거친 테이퍼 구멍이 생깁니다. 이 새로운 레이저-물질 상호 작용 메커니즘을 통해 화학적 에칭 없이 한 단계에서 직접 높은 종횡비의 구멍을 뚫을 수 있습니다.
레이저 펄스 매개변수의 선택은 우수한 미세 가공 품질을 얻기 위해 매우 중요합니다. 펨토초 레이저의 기가헤르츠(GHz) 펄스 모드는 실리콘 중간체가 유리 중간체로 대체될 가능성이 있는 마이크로 전자 공학과 같은 새로운 응용 분야를 위한 길을 열 수 있습니다.
반복적인 단일 펄스가 아닌 기가헤르츠 펄스에서 작동하는 펨토초 레이저는 두 가지 장점을 결합하는 유리 재료와의 상호 작용을 가능하게 합니다. 펨토초 레이저 펄스의 품질이 보존됩니다. 그 결과로 생긴 하향식 충격 드릴은 내벽이 매끄럽고 테이퍼가 없고 가늘고 균열이 없는 구멍을 만듭니다.
