"열간 처리"처리되는 재료의 표면에 더 높은 에너지 밀도 (집중 에너지 흐름)를 갖는 레이저 빔이 조사된다. 재료의 표면은 레이저 에너지를 흡수하고 조명 된 영역에서 열 여기 프로세스를 생성하여 재료 표면 (또는 코팅) 온도가 상승하여 변성, 용융, 절제, 증발 및 기타 현상이 발생합니다.
부하 에너지가 높은 "냉각 처리"(자외선) 광자는 재료 (특히 유기 재료) 또는 주변 매체의 화학 결합을 끊어 재료가 비열 적 프로세스 파괴를 겪을 수 있습니다. 이 냉간 가공은 레이저 마킹 가공에서 특별한 의미를 지닙니다. 열 제거가 아니기 때문에 "열 손상"의 부작용없이 화학 결합을 끊는 냉간 박리이기 때문에 가공의 내부 층과 주변 영역에 영향을 미치지 않습니다. 표면 가열 또는 열 변형을 생성합니다. 예를 들어, 전자 산업에서, 엑시머 레이저는 반도체 기판에 좁은 홈을 생성하기 위해 기판 물질 상에 화학 물질의 박막을 증착하는데 사용된다.
