레이저 세척의 분류 및 방법

기판 재료의 특성, 기판 표면의 정확도, 표면 거칠기 및 미립자 오염 물질의 종류에 따라 현재 레이저 세척 방법은 다음 두 가지 범주로 나눌 수 있습니다. 1) 레이저 청소. 레이저는 물체의 표면을 직접 조사하고, 입자를 오염하거나 표면의 에너지를 흡수한 다음, 입자가 열 확산, 사진 분해 및 가스화로 표면을 떠나게 합니다. 2) 레이저 청소. 오염되지 않은 액체(주로 물, 때로는 알코올)를 세척할 재료 표면에 분무한 다음 레이저로 조사합니다. 레이저 에너지를 흡수한 후 액체 배지는 폭발성 기화를 생성하고 주위의 오염 입자를 재료 표면에서 밀어냅니다. 또한, 소위 레이저 복합 세척 방법이 제안되고 있다. 레이저 세척은 기판 재료에 의해 흡수된 다음 흡착 중간 매체는 열 대류에 의해 가열되고 중간 매체는 폭발성 기화를 생성합니다. 높은 공기 흐름에 의해 구동, 입자는 중간 매체와 함께 기판 표면에서 분리된다.