우리 모두 알다시피 EUV 리소그래피를 생산할 수 있는 제조업체는 전 세계에 단 하나뿐입니다.네덜란드 ASML.
세계에 제조사가 하나뿐인 이유는 ASML이 독일 광학회사인 자이스(Zeiss), 미국 싸이머(Cymer),TRUMPF(독일).
ASML은 투자, 인수, 지분 보유, 연구 센터 설립 등을 통해 이러한 제조업체를 자신의 전차에 묶었으며 이러한 제조업체는 아마도 이러한 제품을 생산할 수 있는 세계 유일의 제조업체이므로 궁극적으로 세계 ASML만이 할 수 있습니다. EUV 리소그래피를 생산합니다.
그러나 최근 ASML의 핵심 공급망은 공장을 짓기 위해 중국 심천으로 달려갔고 심천 자회사는 Baoan Sino-German (Europe) Industrial Demonstration Park에 자리를 잡았습니다.
이 제조업체는 독일의 TRUMPF 그룹(TRUMPF)이며 세계 유일의 레이저 소스 공급업체인 ASML의 EUV 리소그래피입니다.
EUV 리소그래피에서 TRUMPF 제품은 얼마나 중요합니까? 먼저 EUV 리소그래피의 원리를 설명하면 이해가 될 것입니다.
EUV 리소그래피의 원리는 간단히 말해서 EUV 자외선 광원 시스템, 대물 거울 시스템 및 테이블 시스템의 세 가지 주요 시스템을 중심으로 합니다.
구체적인 프로세스는 레이저를 사용하여 극자외선의 13.5nm 파장을 여기시킨 다음 제어된 광선을 형성하도록 보정된 다음 대물 거울을 통해 노출 테이블에 투영되기 전에 포토마스크 테이블에 투영됩니다. 마지막으로 포토레지스트로 코팅된 실리콘 웨이퍼의 회로에 식각됩니다.
EUV UV 광원 시스템 중 하나는 주석(Sn) 금속 액적에 30kW 전력 CO2 레이저를 충돌시키고 이를 플라즈마로 증발시킨 다음 마지막으로 13.5nm 파장에서 EUV 광을 얻어 얻는 방법입니다.
이 30kW CO2 레이저는 세계 유일의 TRUMPF에서 공급합니다.
이 CO2 레이저를 과소 평가하지 마십시오. 457,329개의 부품이 있으며 시스템의 케이블 길이는 최대 7,322m, 무게는 17,090kg으로 EUV 리소그래피에서 가장 중요한 핵심 구성 요소 중 하나입니다.
이제 TRUMPF는 공장을 짓기 위해 중국으로 달려갔습니다. 의도는 분명합니다. 즉, 중국 레이저 시장에 대해 낙관적이며 장기적으로 볼 때 중국 리소그래피 시장에 대해 낙관적입니다. 미래는 EUV 리소그래피를 구축하기 위해 중국과 협력할 수 있습니다. .
실제로 공장을 짓기 위해 중국으로 가는 ASML 공급망이 이미 하나 이상 있고 KMWE 및 기타 제조업체가 있고 공장을 짓기 위해 중국으로 가는 것도 있습니다.
현재 추세에 따르면 머지 않아 중국의 리소그래피 기술이 큰 발전을 이룰 것이라고 낙관적으로 기대할 수 있으며 EUV 리소그래피의 출력량도 기대할 수 있다고 생각하십니까?
