레이저 PVD 도구 청소를 위한 청소 시스템, 효과적으로 제거 하거나 수 있습니다 다중 층 코팅, 기계적 손상, 용접에 아무 손상도 줄이고 표면 씰링, 청소, 필요가 더 주기 시간, 아니 환경 및 화학 시 약, 아니 2 차 오염 물질을가 열 일반적인 반응 챔버 청소 하는 것은 불과 몇 시간에 완료할 수 있습니다.
레이저 기술 증기 위상 예금, 다이아몬드 모양의 탄소 코팅 및 다른 내 마모성 코팅을 포함 하 여 청소 하기 가장 어려운 제거할 수 있습니다. 번들된 레이저의 힘이 "방 탄 코팅" 증발. 궁극적으로, 안전 하 고 손상 없이 정밀 금속 기판 청소 될 수 있다 그리고 아무 잔류물 생산. 플라즈마 챔버 수 있다 수동 또는 반자동으로 받지 효과적인 레이저 청소 하는 동안 드 코팅을.
PVD 물리적 증기 증 착 물질 또는 분자에서에서 전송 소스는 기판의 표면에 물리적 프로세스에 의해 프로세스를 가리킵니다. 그것의 기능은 어머니 시체는 더 나은 성능을 낮은 성능 어머니 몸에 특별 한 속성 (강도, 내 마모성, 방열, 내 식 성, 등) 스프레이 함께 몇 가지 입자를 만드는 것입니다. 이 과정에서 스프레이 래커 계층 뿐만 아니라 대상 표면에 고착 하지만 또한 도구와 반응 챔버 내 부품을 보유 하는 데 사용 되는 비품의 표면으로 통합. 레이저 시스템을 청소 수 있는 효과적으로 PVD 도구 표면 청소, 과도 한 PVD 코팅 재료, 가공 소재, 가난한의 허용 오차를 줄이는 부작용을 피하고 결과 반응 챔버의 씰링 증가 습도 및 난방 시간을 연장 한다.
