단결정 실리콘 웨이퍼 반도체 산업을위한 500 와트 레이저 청소 기계

제품 세부 사항 :

1. 주요 기능

• 비 손상 청소 기술: 고정밀 펄스 섬유 레이저를 사용하여 열 응력 또는 표면 손상없이 오염 물질 (예 : 입자, 산화물, 유기 잔류 물)을 제거합니다.
• 고효율: 500W 레이저 파워는 빠른 청소를 가능하게하여 다운 타임을 줄이고 생산 처리량을 향상시킵니다.
• 스마트 자동화: 프로그래밍 가능한 설정 및 실시간 모니터링은 다양한 크기 및 사양의 웨이퍼에 대한 일관된 청소 품질을 보장합니다.
• 친환경: 지속 가능한 제조 관행과 일치하는 화학 용매 및 연마재를 제거합니다.
• 온라인 테스트 및 샘플링: 구내 시험 실행 및 샘플 처리를 지원하여 특정 응용 프로그램의 성능을 확인합니다.

 

2. 기술 사양

레이저 유형: 펄스 섬유 레이저

파장: 1064 nm (최적의 재료 호환성을 위해 조정 가능)

전원 출력: 500W (1% 단위로 조정 가능)

빔 품질: m² <1.3

펄스 주파수: 10–4000 khz

스캔 속도: 최대 35000mm/s

청소 구역: 웨이퍼 치수에 맞게 사용자 정의 할 수 있습니다 (최대 12- 인치 직경).

냉각 시스템: 안정적인 작동을위한 폐쇄 루프 워터 냉각.

소프트웨어 인터페이스: 사전 설정된 청소 모드 및 데이터 로깅이있는 사용자 친화적 인 GUI.

 

3. 응용 프로그램

• 단결정 실리콘 웨이퍼의 전 및 사후 처리 청소.
• 반도체 제조에서 포토 레지스트, 금속 잔기 및 미세 입자의 제거.
• 리소그래피, 박막 증착 및 결합 공정을위한 표면 준비.

 

4. 보증 및 지원

• 2 년 포괄적 인 보증: 레이저 소스, 광학 및 제어 시스템을 다룹니다.
• 평생 기술 지원: 원격 진단 및 현장 유지 보수 서비스.
• 맞춤형 솔루션: 고유 한 생산 라인 요구 사항에 대한 맞춤형 구성.

 

5. 왜 Mrj-Laser를 선택합니까?

• 업계 전문 지식: 반도체를위한 레이저 응용 분야에서 8 년 이상의 전문화.
• 품질 보증: ISO 9001- 엄격한 테스트 프로토콜을 갖춘 인증 제조.
• 글로벌 서비스 네트워크: 아시아, 유럽 및 북미 전역의 신속한 대응 팀.

 

공장 테스트 초대 :
우리는 고객이 최첨단 시설에서 라이브 데모를 예약 할 수 있도록 환영합니다. 기계의 성능을 경험하고, 청소 결과를 검증하며, 특정 웨이퍼의 매개 변수를 최적화하십시오.

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